透過您的圖書館登入
IP:3.12.162.179
登入
登出
透過您的圖書館登入
透過您的圖書館登入
登入
登出
出版品瀏覽
幫助
授權華藝
IP:3.12.162.179
繁體中文
English
简体中文
精確檢索 : 冠狀病毒
模糊檢索 : 冠狀病毒
冠狀病毒感染
冠狀病毒疾病
查詢出版品: 冠狀病毒
進階查詢
查詢歷史
主題瀏覽
【下載完整報告】AI熱潮從學術研究也能看出端倪?哪些議題是2023熱搜議題?
學位論文
不同閘極金屬氧化鋯鉿鐵電奈米帶無接面場效電晶體經氮氫混合氣體退火之元件特性研究
Effects of Nitrogen and Hydrogen Forming Gas Annealing on HfZrO2 Ferroelectric Dielectric Nanosheet Junctionless FETs with Different Metal Gate Materials
姚承亨(CHENG-HENG YAO)
指導教授 :
林成利
;
李耀仁
逢甲大學/資電學院/電子工程學系/碩士(2020年)
https://doi.org/10.6341/fcu.M0703891
若您是本文的作者,可
授權文章
由華藝線上圖書館中協助推廣。
引用
分享
收藏
未授權
摘要
無資料
關鍵字
鐵電材料
;
混合氣體退火
;
氧化鋯鉿薄膜
;
氮化鉭
;
奈米帶元件
並列摘要
無資料
並列關鍵字
Ferroelectric material
;
Forming gas annealing
;
HfZrO2 thin film
;
TaN material
;
Silicon nanosheet
延伸閱讀
Chiang, B. C. (2016).
具有堆疊式閘極氧化層之氮化鋁鎵/氮化鎵金屬-氧化物-半導體異質結構場效電晶體之研製
[master's thesis, Feng Chia University]. Airiti Library. https://doi.org/10.6341/fcu.M0306405
Chen, M. H. (2017).
臨場方式原子層沉積高介電常數氧化物及金屬閘極之高性能砷化銦鎵自我對準反轉通道金氧半場效應電晶體之研究
[master's thesis, National Taiwan University]. Airiti Library. https://doi.org/10.6342/NTU201703516
吳婷婷 (2015).
藉由超音波霧化熱裂解沉積技術研製具有氧化鎂閘極介電層之氮化鎵/氮化鋁鎵/氮化鎵金屬-氧化物-半導體高電子遷移率電晶體
[master's thesis, Feng Chia University]. Airiti Library. https://doi.org/10.6341/fcu.M0203900
Huang, L. T. (2013).
Nitrogen and Interface Engineering of HfO2 Gate Dielectrics Grown by Remote Plasma Atomic Layer Deposition
[doctoral dissertation, National Taiwan University]. Airiti Library. https://doi.org/10.6342/NTU.2013.10313
許展瑋(2017)。
Sandwiched Nanostructure of Hydrogenated Carbon Doped TiO2 Nanoparticle/Nitrogen Doped Carbon/Rutile TiO2 Nanorod Array for Efficient Photoelectrochemical Water Oxidation
〔碩士論文,國立清華大學〕。華藝線上圖書館。https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=U0016-0401201816041764
國際替代計量
不同閘極金屬氧化鋯鉿鐵電奈米帶無接面場效電晶體經氮氫混合氣體退火之元件特性研究
篇名與作者
摘要與關鍵字
並列摘要與關鍵字
延伸閱讀
國際替代計量
未授權
本網站使用Cookies
為了持續優化網站功能與使用者體驗,本網站將Cookies分析技術用於網站營運、分析和個人化服務之目的。
若您繼續瀏覽本網站,即表示您同意本網站使用Cookies。
我知道了
隱私權聲明