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  • 學位論文

不同閘極金屬氧化鋯鉿鐵電奈米帶無接面場效電晶體經氮氫混合氣體退火之元件特性研究

Effects of Nitrogen and Hydrogen Forming Gas Annealing on HfZrO2 Ferroelectric Dielectric Nanosheet Junctionless FETs with Different Metal Gate Materials

指導教授 : 林成利 李耀仁
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