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  • 學位論文

氧化鋯鉿鐵電介電層互補式奈米線電晶體經雷射與微波退火之特性研究

Effects of Laser and Microwave Annealing on HfZrO2 Ferroelectric Dielectric Complementary Nanowire FET

指導教授 : 林成利
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