原子力顯微術奈米加工製作金屬奈米線與奈米點陣列及其區域表面電漿共振特性研究

Study of Localized Surface Plasmon Resonance of Metal Nanowire and Nanodot Arrays Fabricated by Atomic Force Microscopy Nanomachining

廖健順(Chien-Shuen Liao)

指導教授 ： 林鶴南

國立清華大學/工學院/材料科學工程學系/碩士(2006年)

https://doi.org/10.6843/NTHU.2006.00051

摘要

本實驗使用原子力顯微術在單層阻劑結構上，以機械力微影方式，結合蒸鍍與lift-off步驟，成功地在矽基板上製作出微區的奈米結構，有金奈米點陣列以及多種金屬奈米線陣列，而奈米線部份，包含金、銅、鈦以及鎳等金屬，最小線寬可達45nm的奈米線，此製作方式具有易操作、成本低、以及不受導電基板限制等優勢。此外，利用我們所製作出來奈米級的金屬陣列，以白光光源，在光學顯微鏡暗視野模式下，觀測到不同結構與不同金屬的區域表面電漿共振(LSPR)特性，拍得其散射光影像，並量測散射光譜，在金奈米點部分，於900℃下退火處理下，可聚成理想的球形(65nm)，並得到散射光譜只有一個峰值位於551nm，與文獻上數據吻合。而在奈米線部份，發現所量得其光譜由兩個波峰所構成，分別為金線短軸(高度)與長軸(寬度)尺寸所造成的效應。

關鍵字

原子力顯微術 ； 奈米加工 ； 區域表面電漿共振特性研究

並列摘要

We successfully fabricate metal nanowire and nanodot arrays by a combination of atomic force microscopy nanomachining and lift-off process with the use of a single-layer resist on Si substrates. Various metal nanowires including Au, Cu, Ni and Ti with a smallest width down to 45 nm are created. The advantages of this process are easy-operation, low-cost, and no limitation to the use of a conducting substrate. The localized surface plasmon resonance (LSPR) images and spectra of the metal nanostructures are obtained by using an optical microscope under a dark field mode. For gold nanodots with a size of 65 nm, a single LSPR peak at about 551 nm is observed. Metal nanowires have two peaks due to oscillations in the long axis (width) and the short axis (height).

參考文獻

3.E. Hutter and J. H. Fendler, Adv. Mater. 16, 1685 (2004)

7.C. Viets and W. Hill, J. Raman Spectrosc. 31, 625 (2000)

11.T. J. Silva and S. Schultz, Rev. Sci. Inst. 67, 715 (1996)

21.P. B. Fischer and S. Y. Chou, Appl. Phys. Lett. 62, 2989 (1993)

22.P. Ruchhoeft, J. C. Wolfe, and R. Bass, J. Vac. Sci. Technol. B 19, 2529 (2001)