- 學位論文
雷射干涉微影曝光振動缺陷之分析與改善方法研究
Analysis and Cancellation method of Laser interference lithography Vibration defects caused by environment Vibration
並列摘要
abstract hide
延伸閱讀
- 黃宇中、陳俊凱、胡紅波、孫橋（2013）。不同振動衝擊源之雷射干涉校正系統比對可行性研究。應用聲學與振動學刊，5(1)，23-30。https://doi.org/10.6282/JASV.2013.5.1.03
- 劉純甫（2014）。雷射系統的頻率差值及共振腔橫向邊界尺寸 對大面積面射型雷射螢光光譜影響之研究〔碩士論文，國立交通大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6842/NCTU.2014.00278
- 廖家緯（2017）。雷射掃描收發模組之光學系統研究〔碩士論文，逢甲大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6341/fcu.M0225824
- Lin, C. H. (2005). Applications of electron beam lithography to the fabrication of near-field mask [master's thesis, Tatung University]. Airiti Library. https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=U0081-0607200917233199
- 王韻雯（2015）。Study of Achromatic Interference Lithography Technology Used in Large-Area Lithography〔碩士論文，國立清華大學〕。華藝線上圖書館。https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=U0016-0312201510262172