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  • 學位論文

以CMOS微懸臂樑量測液體黏滯度與密度之設計與應用

CMOS Micromachined Cantilevers for Detection of Fluid Viscosity and Density

指導教授 : 盧向成

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微懸臂樑 壓電式 壓阻感測 黏滯度 密度

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