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IP:3.142.12.170
  • 學位論文

多晶/非晶矽屏蔽奈米結構應用於氮化鎵磊晶驗證之強化矽基板

High Strength Si(111) Substrate with Poly-Si/α-Si Sealing Nanotexture for GaN

指導教授 : 葉哲良

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stress strengthening nanotexture epitaxy e-gun

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