二維光子晶體薄膜在發光二極體上之應用

Study of two dimensional photonic crystal thin film for LED applications

柯俞東(Yu-Dong Ko)

指導教授 ： 齊正中

國立清華大學/電機資訊學院/光電工程研究所/碩士(2009年)

https://doi.org/10.6843/NTHU.2009.00364

摘要

我們研究探討改進在LED表面出光的光子晶體(Photonic Crystal)以及類光子晶體(PQC- Photonic Quasi-Crystal) 圖形的蝕刻(正方晶格、三角-正方晶格)對LED出光效能的影響。利用排列表面蝕刻圖形(PQC 以及 PC)以及量測LED總出光的增益、出光方向、和遠場光的形狀來實現我們的物理機制，幾個影響因素有晶格形狀、蝕刻深度、以及磊晶厚度。希望可以改變LED的出光光型，以及改善其出光的效率，以期應用在投影電視光源和平板顯示照明上得到較好的效果。

製程上我們利用奈米壓印(nanoimprint lithography NIL)製程來重複製作我們所需要的光子晶體圖形，取代以往耗時的電子束微影製程，希望可以做出快速且容易重複生產的光子晶體圖形。並且設計類似LED表面圖形的薄膜結構，利用連續光源經過分光儀產生不同波段的光，來驗證是否與模擬所預測的結果相同。

關鍵字

光子晶體 ； 發光二極體 ； 薄膜

並列摘要

無資料

並列關鍵字

photonic crystal ； led ； thin film

參考文獻

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