考慮到熱敏感材料的殺菌以及殺菌媒介的安全性,電漿殺菌是傳統殺菌技術可能的替代方案。電漿殺菌主要的議題便是紫外線以及活性粒子彼此的角色關係。在低氣壓使用含有氧氣的混合氣體電漿殺菌,藉由氧原子顯著的侵蝕效果輔助,紫外線在殺菌過程中佔有主要地位。隨著侵蝕的進行,可以成功與DNA反應的紫外線數量跟著
提高。
本研究利用2.45GHz微波源在低氣壓激發空氣電漿,對枯草桿菌(B. subtilis)孢子進行殺滅處理,藉由其特殊的生存曲線,我們得以辨認分析其各階段不同的物理化學作用,並發現空氣電漿中NO及NO2所產生的紫外線對殺菌是很有助益的。