射頻磁控濺鍍系統成長La0.67Ca0.33MnO3/LaNiO3人工超晶格磊晶薄膜結構與磁耦合關係之研究

Study on the correlations of structure and magnetic coupling in La0.67Ca0.33MnO3/LaNiO3 superlattices prepared by RF magnetron sputtering

游家維(Chia-Wei Yu)

指導教授 ： 李志浩 ； 李信義

國立清華大學/原子科學院/工程與系統科學系/碩士(2006年)

https://doi.org/10.6843/NTHU.2006.00647

摘要

本實驗成功的利用Radio Frequency磁控濺鍍法製成長磊晶出La0.67Ca0.33MnO3/LaNiO3(LCMO/LNO)人工超晶格薄膜於單晶SrTiO3基板上。藉由X光反射率與X光繞射的量測證實了超晶格結構的形成。由 X-ray繞射分析顯示在超晶格磊晶薄膜中隨著LNO厚度的增加，由c軸的晶格常數會因為界面處的應變慢慢消失而拉長恢復到接近塊材的晶格常數。另外，由a軸晶格常數變化情形，因為界面處的應變慢慢消失而壓縮恢復到接近塊材的晶格常數。由SQUID之量測觀察到對殘磁作歸一會隨LNO厚度改變會有呈現不規則的跳動，發現可能存在RKKY的關係。因為系統本身的點數太少，不足以看出震盪的關係，但是參考文獻發現震盪的周期大約在2 nm左右。由SIMS之量測觀察到縱深的周期結構不但明顯而且去計算單一周期的厚度，是與我們所預期的結果是一致的。藉由X光反射率量測可發現幾乎固定的界面粗糙度存在於LCMO與LNO層之間，至於材料本身的密度是略小於塊材的值。

關鍵字

鑭鈣錳氧 ； 超晶格

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無資料

並列關鍵字

LCMO ； supperlattice

參考文獻

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