可低溫共燒之玻璃-陶瓷/氧化鋁積層結構的自我束縛燒結行為

Self-constrained sintering of a multilayer low-temperature-cofired glass-ceramics/alumina laminate

廖建閎(Chien-Hung Liao)

指導教授 ： 簡朝和

國立清華大學/工學院/材料科學工程學系/碩士(2007年)

https://doi.org/10.6843/NTHU.2007.00270

摘要

本研究中已經成功研發出由CaO-B2O3-SiO2玻璃(CBSG)和Al2O3組成的自我束縛低溫共燒陶瓷系統。實驗方法是製作由CBSG和Al2O3組成的CBSG/Al2O3積層結構，改變的參數分別為束縛層Al2O3層的厚度和Al2O3粒徑。因為CBSG的燒結緻密溫度遠低於Al2O3，所以束縛在CBSG表面不緻密的Al2O3在共燒時可以有效阻止CBSG在X-Y方向的收縮，待CBSG燒結緻密後，CBSG會藉由毛細作用從Al2O3孔隙滲透進入Al2O3層，並與Al2O3反應促使Al2O3層變緻密。此種交互束縛的行為可使CBSG/Al2O3系統在共燒的過程中，只有Z方向產生收縮，X-Y方向幾乎沒有收縮，表現出此自我束縛低溫共燒陶瓷系統緻密的獨特性。

關鍵字

低溫共燒陶瓷 ； 翹曲 ； 應力 ； 束縛燒結

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low-temperature-cofired ceramics(LTCC) ； camber ； stress ； constrained sintering

參考文獻

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