張力調控狹縫式塗佈技術之建立與分析

Development and Analysis of Tensioned-Web Slot Coating

林芳禾(Fang-Ho Lin)

指導教授 ： 劉大佼

國立清華大學/工學院/化學工程學系/博士(2007年)

摘要

液晶面板(liquid crystal display, LCD)產業為國內最重要的高科技產業之一，LCD面板中含有相當數目的光學膜，必須以精密塗佈技術加工製造。光學膜的特性之一為其塗層極薄，目前國際公認張力調控狹縫式塗佈技術(tensioned-web slot coating, TWSC)為精密薄層塗佈最具潛力的方法之一，而本研究的目的主要是在國內建立一套可用於塗佈薄層的塗佈技術之完整分析，其進行步驟包括(1) pilot scale之TWSC設計製作、(2)TWSC基礎實驗研究與(3)TWSC理論分析模式等三部分。首先以建立可用於發展TWSC之精密塗佈pilot coater為主，經過數多努力完成一套的完整操作TWSC的技術。在TWSC基礎實驗研究中，利用流場觀察技術判定塗佈液珠缺陷而建立起TWSC的塗佈視窗，並進行一系列的實驗逐一了解此一技術，結合無因次群分析與最小平方法推導出一通用修正式(universal correlation)，用以預測在TWSC物理系統中，各關鍵實驗參數與最小濕膜厚度的關係。對於TWSC理論分析部分，利用Y-Flow工具模擬微觀流場變化，用以探討塗佈液珠的穩定性；為了縮短計算時間並有效預測TWSC的最小濕膜厚，將Navier-Stoke’s Equation簡化成潤滑場近似(lubrication approximation)分析塗佈液珠壓力，並對彎曲基材張力引入薄膜近似理論(membrane approximation)，經由巨觀平衡的觀念並結合幾何關係後得到一系列的非線性聯立方程組，與實驗所得的最小濕膜厚比較後，理論計算具有高度的合理性，因此進一步利用此數學理論公式改變模唇形狀中各角度以推測不同模唇形狀所可達到的最小濕膜厚度，而求得一適合用於塗光學薄膜的模唇形狀之最適化設計。

關鍵字

張力調控狹縫式塗佈 ； 最小濕膜厚度 ； 通用修正式 ； 數學模式 ； 模具模唇設計

參考文獻

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