- 學位論文
矽化鈷奈米線之合成以及其場發性質之研究
Synthesis and Field Emission Characteristics of Cobalt Silicide Nanowires
摘要
金屬矽化物擁有高熔點、高穩定性和低電阻等優點，常應用於積體電路中作為閘極和接觸之材料。而在深次微米的積體電路技術中，由於線寬、接觸面積和接觸深度都逐漸縮小的情況下，奈米尺寸金屬矽化物的發展也漸漸受到重視。而本研究主要著重在一維矽化鈷奈米線的製備，以及探討其在場發射性質上的特性。
金屬矽化物擁有高熔點、高穩定性和低電阻等優點，常應用於積體電路中作為閘極和接觸之材料。而在深次微米的積體電路技術中，由於線寬、接觸面積和接觸深度都逐漸縮小的情況下，奈米尺寸金屬矽化物的發展也漸漸受到重視。而本研究主要著重在一維矽化鈷奈米線的製備，以及探討其在場發射性質上的特性。