去除犧牲層之Air-Gap銅導線鑲嵌結構

Air-Gap Cu Damascene Structure by Removing Sacrificial Layer

林明昌(Ming-Chang Lin)

指導教授 ： 葉鳳生

國立清華大學/電機資訊學院/電子工程研究所/碩士(2007年)

摘要

無資料

關鍵字

銅連接線 ； 鑲嵌結構 ； 空氣介電材料 ； 犧牲層

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無資料

並列關鍵字

Cu interconnect ； damascene ； air-gap ； sacrificial layer

參考文獻

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