游標尺式之懸浮閘極電晶體應用於梳狀致動器之位移感測

A vernier-type displacement sensing mechanism using suspended gate FET for comb-drive actuators

徐若涵(Ruo-Han Xu)

指導教授 ： 陳榮順

國立清華大學/工學院/微機電工程研究所/碩士(2007年)

摘要

本研究提出游標尺式懸浮閘極場效應電晶體之位移量感測器，並且整合於微機電系統之中，用於提供靜電式梳狀致動器之位置迴授訊號，其優點為感測的架構單純、高解析度，以及數位式的感測方式，不但省去了後端再由類比轉數位的複雜電路，也節省了處理時間。
懸浮式閘極電晶體的操作原理，乃是透過輸出之汲極電流而感測懸浮閘極之位移量。本研究呈現游標尺式懸浮閘極電晶體的設計與分析，並闡述其操作原理與特性。另外，為了驗證系統整合的可能性，本研究亦設計一組靜電式梳狀致動器，並對其靜態與動態特性皆以數值模擬軟體進行驗證。
本研究的製程規劃以兩片晶片分別完成，再用XYZ平台加以組合。預計未來的工作，將平台架設好，並予以量測，最後期望量測結果能和模擬所得到的結果加以比較分析並做探討。

關鍵字

電晶體 ； 懸浮閘極 ； 梳狀致動器

參考文獻

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