靜電式相位板之改良及應用

Improvement And Application Of The Electrostatic Phase Plate

黃啟豪(Chi-Hao Huang)

指導教授 ： 陳福榮 ； 曾繁根

國立清華大學/原子科學院/工程與系統科學系/碩士(2010年)

摘要

摘要

由於低原子序原子在電子顯微鏡中所得到之相位對比很低，為提升相位板之相位對比，本論文之實驗目的為研究並且利用微機電之方式製造靜電式之相位板，並且利用外加電壓，使相位板之孔洞內部產生均勻的積分電位使電子束轉換 /2之相位，因而可得到更好之相位對比。

我們將相位板製做成環狀，並且使穿透電子穿過環之中央而改變了相位，繞射電子則從環的周圍通過並維持原來之相位，因此不僅改良了碳膜相位板之問題，更因為整個元件都在矽晶圓上加工，更加適合大量生產之目標。更因為所設計之相位板具有光圈之功能，可以很容易的隨時決定要不要裝入相位板，以得到我們要之相位影像。

本研究目標在於設計新的相位板並且盡可能的減少電子束被遮擋訊號之面積，並且對於相位板製程上所遇到之問題一一提出解決之法。

關鍵字

相位板 ； 微機電

並列摘要

無資料

並列關鍵字

Phase plate ； MEMS

參考文獻

[4]Koichi KANAYA, Hisazo KAWAKATSU,(1958)

[5]Akira TONOMURA (1988)206-213

[6]Takao Matsumoto and Akira TONOMURA, Ultramicroscopy 63(1996)5-10

Schröder RR, Ultramicroscopy 107, (2007) 213–226

[9]Danev R, Nagayama K, J Phys Soc Jpn 73, (2004) 2718–2724