變壓器耦合式電漿之研究

Study of Transformer Coupled Plasmas

余志昱(Chih-Yu Yu)

指導教授 ： 寇崇善

國立清華大學/理學院/物理學系/碩士(2010年)

https://doi.org/10.6843/NTHU.2010.00316

摘要

本研究探討切換式功率源驅動變壓器耦合式電漿(Transformer Coupled Plasmas, TCP)的電漿激發機制與特性。本研究成功研發切換式功率源，頻率操作上限300 kHz，輸出電壓上限為350 V，實驗操作功率為60 W至130 W。切換式功率源激發的電漿密度在1010 cm-3至1011 cm-3量級，氣壓可在20 mTorr至300 mTorr之間操作。
　　實驗使用Langmuir Probe量測電漿密度與電子溫度；光譜儀量測系統量測氬氣電漿在可見光範圍內的特徵光譜特性；以電路學方式量測電漿電壓、電漿電流的特性。對量測結果進行討論與分析，同時以OrCAD軟體模擬電漿的電路特性進行分析。

關鍵字

電漿 ； 變壓器 ； 切換式功率源

並列摘要

無資料

並列關鍵字

plasma ； Transformer ； switching power supply

參考文獻

[1] M. Laroussi. IEEE Trans. Plasma Sci., 24, p.1188, 1996.

[5] A. Fridman and L. A. Kennedy, Plasma Physics and Engineering, Taylor & Francis Books, Inc., New York, 2004.

[6] J. Hopwood, Plasma Source Sci. Technol., 1, p.109, 1992.

[8] J. J. Gonzalez and A. Shabalin, Plasma Sources Sci. Technol., 12, p.317, 2003.

[16] F.F. Chen, Plasma Diagnostic Techniques, edited by R. H. Huddle and S.L. Leonard, Academic, New York, 1995.