奈米多層薄膜在熱退火後的晶粒尺寸研究

Study of the crystallite size for the nano-meter multilayer stack after thermal anneal

宋欣忠(Song, Sin Jhong)

指導教授 ： 趙煦

國立清華大學/電機資訊學院/光電工程研究所/碩士(2015年)

https://doi.org/10.6843/NTHU.2015.00566

摘要

觀測重力波目前被預測為觀測天體變化相當重要的方式，但由於重力波的強度相當的微弱，所以欲以特殊的雷射干涉儀觀測，而目前受到各種雜訊的影響無法觀測到重力波，所以需要將系統的總雜訊盡可能降低，目前以量測重力波為主要研究目標的組織LIGO(Laser Interferometer Gravitational Wave Observatory)所設計的干涉儀目前系統總雜訊最低的頻率為40~400Hz左右，故本實驗室的主要研究目標為降低雷射反射鏡之各種損耗，其中包含光學損耗、機械損耗等等，嘗試以不同的材料以及不同的製程達到目標。
目前從參考文獻得知將TiO2參雜在Ta2O5中再進行退火製程後可以降低機械損耗，但需要在未結晶的狀況下才成立，而在未結晶的狀況下退火製程溫度越高機械損耗降低的程度也越高，而TiO2薄膜在不同的厚度下結晶所需的溫度也不同，故以特殊結構以SiO2以及TiO2交疊而成的多層膜nano-layer取代單層TiO2，將單層的TiO2厚度降低以提升結晶退火溫度，所以本論文主要探討不同結構之nano-layer以相同溫度退火製程後結晶大小的比較，並探討nano-layer退火後機械損耗的變化。

關鍵字

退火 ； 晶粒 ； 二氧化鈦

參考文獻

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