混合粉末法合成Si/SiOx核殼奈米線

The Synthesis of Si/SiOx Core-shell Nanowires via Mixing Powder Method

楊宗潾(HASH(0x1c238d80))

指導教授 ： 林樹均

國立清華大學/工學院/材料科學工程學系/碩士(2008年)

摘要

本實驗是以單區水平爐管加熱，並通入Ar + 10 ％ H2的催化氣體，以熱蒸發法成長奈米線。實驗方式是將SiO與Sn粉混合放入爐管中加熱，粉末反應溫度設定為1350 °C。隨著基板擺放的遠近，沉積溫度會有所改變，得到的奈米線結構因此不同。成長出的奈米線為氧化矽非晶外層包覆著矽單晶的核殼 ( core-shell ) 結構。試片沉積奈米線前，會先沉積一層氧化層，其厚度與溫度、位置有關。我們並且推測了氧化層及奈米線的成長機制。光學性質方面，CL量測結果發現在光譜圖452 nm ( 藍光 ) 與624 nm ( 紅光 ) 處有峰值，也可望在發光元件上有應用。電阻率的量測則發現其電阻率值與理論值接近。

關鍵字

奈米線 ； 核殼結構 ； 電阻率 ； 矽

並列摘要

HASH(0x1c242180)

並列關鍵字

HASH(0x1c241e60) ； HASH(0x1c241f00) ； HASH(0x1c241fa0) ； HASH(0x1c242040)

參考文獻

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