單一半導體奈米線之電性研究

Study on electrical properties of single semiconductor nanowires

蔡秉諺(Pin-Yian Tsai)

指導教授 ： 果尚志

國立清華大學/理學院/物理學系/碩士(2008年)

摘要

本論文主要研究一維奈米線材的電性量測、操控、與組裝。充分應用奈米操控系統的優勢，嘗試發展出快速測定一維奈米線材半導體特性的方式。並使用奈米操控系統對於奈米線材做出精密操控與組裝，以製作成氧化鋅/氮化鎵異質結構二極體，並可針對此二極體的電性與光性做測量。本論文中詳細敘述使用奈米操控系統所實現的不同量測方式，以奈米操控系統的探針改變場效應電晶體中閘極的結構形式量測奈米線的場效應趨勢，藉此判定奈米線的半導體特性。另於論文中描述使用奈米操控系統組裝奈米線於特定位置的操控過程。挑起單根氧化鋅奈米線擺放於氮化鎵薄膜的流程，以及氮化鎵薄膜製成指叉式電極所需的黃光微影、蝕刻等製程及製成元件的流程，及後續的電性與光性量測。
本論文中實現對於單根奈米線的操控，對於量測單根奈米線材或以單根奈米線材製作元件做出一個有效的示範。相信此方式對於未來研究一維材料的電性、光性或組裝精密的奈米元件提供一個有趣的方向。

關鍵字

奈米線 ； 二極體 ； 操控 ； 電性 ； 氧化鋅 ； 氮化鎵

並列摘要

無資料

並列關鍵字

nanowire ； diode ； manipulation ； electrical properties ； ZnO ； GaN

參考文獻

27.半導體奈米線材之操控、組裝及量測, 楊右丞著, 清華大學碩士論文.

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