自製曝光系統 應用於製作磁膜圖形細胞載具

Establishment of Mask Aligner Applied on the Magnetic Cell Vehicle Fabrication

符伯緯

指導教授 ： 衛榮漢

國立清華大學/工學院/動力機械工程學系/碩士(2014年)

摘要

因申請專利緣故，資料延後公開

關鍵字

生物晶片 ； 細胞載具 ； 微機電系統 ； 曝光系統 ； 磁性微結構

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參考文獻

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