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學位論文
自動化雷射干涉微影設備之開發與其製作之週期性奈米結構的應用
Development of the Laser Interference Lithography Equipment and the Applications of the Fabricated Periodic Nano Structures
張恩獎(En-Chiang Chang)
指導教授 :
傅建中
國立清華大學/工學院/奈米工程與微系統研究所/博士(2014年)
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因申請專利緣故,資料延後公開
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雷射干涉微影
;
週期性奈米結構
;
奈米圖案化藍寶石基板
;
金屬線柵偏振器
並列摘要
因申請專利緣故,資料延後公開
並列關鍵字
aser interference lithography (LIL)
;
periodic nanostructure
;
nanopatterned sapphire substrate (NPSS)
;
wire grid polarizer (WGP)
參考文獻
因申請專利緣故,資料延後公開
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延伸閱讀
楊智翔(2008)。
創新之雷射干涉微影系統與大面積奈米壓印模具之製作
〔碩士論文,國立清華大學〕。華藝線上圖書館。https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=U0016-2002201314222761
Chen, L. S. (2008).
用於製造大面積次微米週期性干涉條紋之伺服系統設計與分析
[master's thesis, National Taiwan University]. Airiti Library. https://doi.org/10.6342/NTU.2008.00563
黃則斌(2013)。
多次曝光雷射干涉微影以及多道光雷射干涉微影在奈米級圖案化藍寶石基板製程上之產能比較及最佳化曝光設備之設計
〔碩士論文,國立清華大學〕。華藝線上圖書館。https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=U0016-2511201311332272
歐奕賢(2010)。
光機電整合:雷射都卜勒干涉儀及其在微機電元件的應用
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Journal of Science and Innovation
,
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