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雙對準4H碳化矽垂直型金氧半場效電晶體 之新穎離子佈植遮罩製程研發
Development of Novel Implant Masking Processes for Double Self-Aligned 4H-SiC DMOSFETs
江政毅
指導教授 :
黃智方
國立清華大學/電機資訊學院/電子工程研究所/碩士(2014年)
https://doi.org/10.6843/NTHU.2014.00550
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垂直型金氧半場效電晶體
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離子佈植遮罩
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李孟家(2009)。
橫向高電壓4H-SiC 佈值雙漂移區金氧半電晶體設計與製作
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〔碩士論文,國立清華大學〕。華藝線上圖書館。https://doi.org/10.6843/NTHU.2010.00517
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〔碩士論文,國立清華大學〕。華藝線上圖書館。https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=U0016-0805201213342116
劉冠廷(2020)。
Improved Electrical Characteristics in Ge nMOSFETs with Post-oxidation Process
〔碩士論文,國立清華大學〕。華藝線上圖書館。https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=U0016-2502202114233653
國際替代計量
雙對準4H碳化矽垂直型金氧半場效電晶體 之新穎離子佈植遮罩製程研發
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