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IP:3.22.221.28
  • 學位論文

雙對準4H碳化矽垂直型金氧半場效電晶體 之新穎離子佈植遮罩製程研發

Development of Novel Implant Masking Processes for Double Self-Aligned 4H-SiC DMOSFETs

指導教授 : 黃智方

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因申請專利緣故,資料延後公開

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