應用六標準差手法提升彩色濾光片黑色矩陣製程良率

Using Six Sigma Methodology to Enhance Color Filter Black Matrix Process Capability

劉振綱(Chen-Kang Liu)

指導教授 ： 蘇玲慧

中原大學/電機資訊學院/工業與系統工程研究所/碩士(2017年)

https://doi.org/10.6840/cycu201700527

摘要

本研究針對個案公司彩色濾光片廠導入高解析度機種之製程能力改善。運用六標準差手法，由界定(Define)、衡量(Measure)、分析(Analyze)、改善(Improve)、控制(Control)步驟，改善彩色濾光片黑色矩陣製程能力。研究定義關鍵品質特性與確認量測系統準確性，再找出影響黑色矩陣製程能力關鍵因子，並利用田口方法進行實驗，選用L8直交表配置以減少實驗次數，將實驗數據分析，以田口方法中二階段最佳化的方式找出最佳製程參數組合。經由實驗結果顯示，改善後的最佳製程參數組合，可以使高解析度面板產品黑色矩陣線寬穩定維持於7±1.5μm範圍內，黑色矩陣製程能力指標Cpk值由改善前1.38提升至1.89，達到Cpk值大於1.67的改善目標，驗證本研究實驗結果能有效提升黑色矩陣製程能力。

關鍵字

六標準差、黑色矩陣、田口方法、彩色濾光片

並列摘要

This thesis improves the process capability of high-resolution products of color filter factory. By the Six Sigma Methodology which follows the steps including define, measure, analyze, improve, and control, the Black Matrix Process of Color Filter process capability is thus enhanced.
Firstly, the key quality characteristics are defined and the accuracy of the measurement system is confirmed. Then, the key factors which affect the quality characteristics are found. Finally, L8 orthogonal table from Taguchi method is applied to reduce experimental times and the optimal parameters via Taguchi’s two-stage optimization are found. The experimental results showed that after the improvement of the optimal parameters, we can make high-resolution products with the black matrix line width stability in the 7 ± 1.5μm range and the Black matrix process capability index improvement from 1.38 to 1.89 that is better than the expected value (Cpk > 1.67). The experimental results showed that the method improves the black matrix process capability effectively.

並列關鍵字

Six sigma、Black Matrix、Taguchi Methods、Color Filter

參考文獻

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