共光程外差干涉術於光電量測應用之研究

Study on the applications of Electro-Optical meter based on common-path heterodyne interferometry

柯沛成(Pei-Cheng Ke)

指導教授 ： 王信福

健行科技大學/電資學院/電子工程所/碩士(2013年)

摘要

本論文：『共光程外差干涉術於光電量測應用之研究』，其主要為探討共光程外差干涉術於光電產業、精密儀器等之研究，於本文中除了介紹共光程外差干涉技術原理之外，亦提出兩個相關共光程外差干涉於光電量測應用之相關實驗與研究，此兩項研究分別為(1)共光程外差干涉術應用於Z軸之位移測量儀之研究，(2)共光程外差干涉術應用於自動化光電檢測系統之研究，由於共光程外差干涉術，具有不受環境干擾，因此量測時，系統穩定度相當高。此外，在這兩項光電量測應用中，系統具有(1)即時量測、(2)架構簡單、(3)易於操作、(4)穩定性高等等優點。

關鍵字

共光程外差干涉術 ； 微小位移 ； 液晶顯示 ； 內部全反射 ； 表面電漿共振

並列摘要

In this thesis, a study on the applications of Electro-optical meter based on common-path heterodyne interferometry is proposed. In the article, not only the principle but also two applications of common-path heterodyne interferometry, i.e. the z-axis small-displacement sensor and the measurement of LCD parameters, will be introduced.
Owing to the merit of common-path in the Electro-optical meter resistant to the environmental disturbances, the meter in much more stable than the other interferometers. In addition, the electro-optical meter with several advantages, such as a simple optical setup, in real-time measurement, easy operation, high stability, high resolution, etc.

並列關鍵字

Common-path Heterodyne Interferometry (C-P HI) ； small-displacement measurement ； Liquid Crystal Display(LCD ； total internal reflection(TIR) ； surface plasmon resonance(SPR)

參考文獻

（1） 王信福，”D型光纖生化感測器”國立中央大學光電科學 研究所博士論文,民國九十四年。

（2） 李隆翔，「結合表面電漿共振及全反射外差干涉術的微小角度測量儀之研究」，私立清雲科技大學，電子工程研究所，碩士論文，民國九十五年七月

（3） 邱智賢，「結合表面電漿共振及全反射外差干涉術的微小位移測量儀之研究」，私立清雲科技大學，電子工程研究所，碩士論文，民國九十六年六月

（4） 邱銘宏，「共光程外差干涉儀的原理與其應用之研究」，國立交通大學，光電工程研究所博士論文，民國八十六年。

（5） 陳威宇，「以共光程外差干涉儀作微小位移量測」，國立中央大學，光電科學研究所，碩士論文，民國九十四年六月。