利用光受挫式內部全反射法激發表面電漿波於氯及鹵甲烷的量測

Using the Excitation Surface Plasma Waves of Optical Frustrated Total Internal Reflection to the Chlorine and Halogen-methane Measurement

邱繼正(Ji-Zheng Chiou)

指導教授 ： 李正民

健行科技大學/電資學院/電子工程所/碩士(2008年)

https://doi.org/10.6824/UCH.2008.00027

摘要

本論文是根據光受挫式內部全反射方法利用稜鏡的耦合來激發表面電漿波，量測出氯氣與鹵族甲烷(氟甲烷、氯甲烷、溴化甲烷、碘甲烷)之共振角度。研究過程中，我們使用Otto組態與KR組態分別對氯氣與鹵族甲烷做特別的分析研究，經由鹵族氣體的微小介電常數差異，透過模擬實驗分析後，仍然可以準確的判斷出待測氣體之共振角度與吸收的深度，所以利用此光學式量測系統來量測可說是具有相當之靈敏性。藉由量測出之氣體共振角度與尋找出的氣體間隙或金屬薄膜厚度之關係，期盼未來能夠實際的製作出監測系統，應用於工業安全上對人體有害的氣體的偵測，經由監測系統的防護，適時的提出警報，以維護勞工在其職場上的安全，並減少工作意外的發生。

關鍵字

光受挫內部全反射 ； 表面電漿波 ； 氯氣 ； 鹵族甲烷 ； Otto組態 ； KR組態

並列摘要

This research used the optical frustrated total internal reflection by the coupling of prisms to excite surface plasma waves to measure the resonant angle of the chlorine and Halogen-methane (including the fluoromethane, chloromethane, bromomethane, and iodomethane). During the process of this research, the Otto configuration and KR configuration are used to proceed the special analysis on the chlorine and Halogen-methane, and through the simulative experimental investigation into the tiny variation of dielectric constants of Halogen gas, the resonant angle and depth of absorption of the to-be-investigated gas can be accurately measured. Thus, this optical measuring system can be confirmed with high sensitivity. The measurement of the resonant angle and findings of gas gap or metal film are expected to practically apply to the industrial safety investigation into harmful gas channels in the future. Through the protection of the investigating system, the warning information can be given in time, the labor’s safety in the work place can be ensured, and the occurrence of work accidents can be prevented.

並列關鍵字

Frustrated Total Internal Reflection of Optical (OFTIR) ； Surface Plasma Waves(SPW) ； Chlorine ； Halogen-methane ； Otto Configuration ； Krestchmann Configuration

參考文獻

1.大陸江蘇省環境監測中心，突發性污染事故危險品資料庫系統，民國97年。

2.行政院勞工委員會，職業性疾病案例，八十六年十月出版。

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4.李正民、邱國華、鍾朝凱、邱繼正、錢志暹，「表面電漿波於一氧化碳感測器的設計與量測」，2006兩岸機電暨產學合作學術研討會，27頁，新竹，民國九十五年十一月一日。

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