利用受挫式內部全反射法及激發表面電漿波組態對空氣中二氧化碳量測

Using Frustrated Total Internal Reflection Methods and Stimulating Surface Plasma Waves Configuration to Measure the Amount of Carbon Dioxide in the Air

林華烈(Hua-Lie Lin)

指導教授 ： 李正民

健行科技大學/電資學院/電子工程系碩士班/碩士(2017年)

摘要

本論文是利用受挫式內部全反射法與激發表面電漿波組態（Kretschmann組態、Otto組態）及參考表面電漿波實驗架構對金、銀、銅金屬薄膜厚度的變化和二氧化碳做表面電漿波共振角的電腦模擬量測研究。
從本論文研究的結果得知：二氧化碳在Kretschmann組態中，金薄膜厚度45 nm、銀薄膜厚度60 nm、銅薄膜厚度50 nm時；在Otto組態中，金薄膜厚度350 nm、銀薄膜厚度600 nm、銅薄膜厚度335 nm時，有最佳化的表面電漿波共振角。

關鍵詞：受挫式內部全反射法、Kretschmann組態、Otto組態、表面電漿波共振角、
二氧化碳。

關鍵字

受挫式內部全反射法 ； Kretschmann組態 ； Otto組態 ； 表面電漿波共振角 ； 二氧化碳。

並列摘要

This research used frustrated total internal reflection methods and stimulated surface plasma waves configuration (Kretschmann configuration and Otto configuration). At the same time, we use the surface plasma wave experimental structure of gold, silver, copper metal film thickness changes and carbon dioxide surface plasma wave resonance angle of the computer simulation measurement.
The results of this paper are: carbon dioxide in the Kretschmann configuration, gold film thickness of 45 nm, silver film thickness of 60 nm, copper film thickness of 50 nm； In the Otto configuration, gold film thickness of 350 nm, silver film thickness of 600 nm, copper film thickness of 335 nm, There is optimization surface of the surface plasma wave resonance angle.

Keywords: frustrated internal total reflection method, Kretschmann configuration, Otto configuration, surface plasma wave resonance angle, carbon dioxide.

並列關鍵字

frustrated internal total reflection method ； Kretschmann configuration ； Otto configuration ； surface plasma wave resonance angle ； carbon dioxide.

參考文獻

(1)陳治宇、鍾竺均，「校園環境二氧化碳濃度之調查與研究」，醒吾學報，129~146頁，民國九十五年六月。

(2)李正民、孫郁興、林華烈、黃毓寧、鄧智承,「利用受挫式全反射法配合Otto組態激發表面電漿波對二氧化碳之偵測」，2016光電與智慧電子研討會，7~9頁，健行科技大學，民國105年六月三日。

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(4)邱國華，「利用受挫內部全反射法激發表面電漿波製作氣體感測器之研究」，健行科技大學，碩士論文，民國九十六年。

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