有機發光二極體薄膜封裝之研究

The Study of Thin Film Encapsulation for OLED

徐銘佑(Ming-Yug Hsu)

指導教授 ： 莊賦祥

國立虎尾科技大學/電機資訊學院/光電與材料科技研究所/碩士(2014年)

https://doi.org/10.6827/NFU.2014.00093

摘要

本研究利用電漿化學氣相沉積法(Plasma Enhance Chemial Vapor Deposition, PECVD)製備多層二氧化矽封裝薄膜，使用四甲基二矽氧烷(TMSO)輸送至混合槽並與氧氣(O2)做混合產生反應之後通導入腔體內，並藉由調變電漿功率、四甲基二矽氧烷及與氧氣含量來探討其參數之改變對薄膜結構、性質以及OLED效率與壽命的影響，薄膜分析以SEM、UV-visible、FTIR、AFM、色彩分析儀PR-650、LifeTime等儀器量測。

研究結果顯示，在製程溫度25oC製程壓力100mTorr電漿功率300W及TMSO流量200sccm下，沉積出疏水性薄膜，水滴接觸角為105.45o，量測AFM其表面粗糙度(Ra)為3.139nm；接著改變製程參數，電漿功率為400W，TMSO為25sccm及氧氣80sccm，可以沉積出親水性之薄膜，水滴角為2.83o，量測AFM其表面粗糙度(Ra)為0.445nm。

最後利用兩種親水性疏水性不同薄膜的性質，互相搭配沉積單層或多層二氧化矽封裝薄膜，可有效的延長OLED 壽命。

關鍵字

電漿化學氣相沉 ； 二氧化矽 ； 薄膜 ； 封裝 ； 壽命 ； 親水 ； 輸水

並列摘要

In this study, plasma chemical vapor deposition (Plasma Enhance Chemial Vapor Deposition, PECVD) multilayer thin films of silica encapsulation , using a Tetramethyldisiloxane (TMSO) delivered to the body cavity with oxygen (O2) do mix after the cavity through import react , and by modulating plasma power , four- dimethyl siloxane and oxygen content and to investigate the effect of changing the parameters of the film structure , properties, and OLED efficiency and lifetime of film analysis by SEM, UV-visible, FTIR, AFM, color analyzer PR-650, LifeTime instruments such measurements.

The results show that the process temperature is 25oC,plasma process pressure 100mTorr , plasma power 300W and the flow rate 200sccm TMSO , the film can be deposited hydrophobic , water contact angle was measured 105.45o, AFM displayed surface roughness (Ra) of 3.139nm; then change the process parameters , plasma power of 400W, TMSO to 25sccm and oxygen 80sccm, the film can be deposited hydrophilic , the water droplets angle 2.83o, AFM show its surface roughness (Ra) of 0.445nm.

Finally, using the properties of two different hydrophilic hydrophobic films , each with a single-layer or multi-layer deposition of silica encapsulation films can effectively extend the life of OLED .

並列關鍵字

PECVD ； SiO2 ； film ； encPECVD ； SiO2 ； film ； encapsulation ； life time ； hydrophilic ； hydrophobic

參考文獻

[3]黃承揚，〝低溫塑膠光學濾鏡電漿聚合膜技術〞，光學工程，第82期，2003，

2003，3月P.P.115-119.

[6]劉佳鑫, ” Epoxy/SiO2 奈米混成材料製備及其在光電封裝應用

[11]吳權吉，〝以反應性磁控濺鍍法製備矽化物氣體阻障層〞，私立中原大學碩士論文( 2005 ).

[12] P. Mandlik , L. Han, S. Wagner, J. A. Silvernail , R.-Q. Ma , M. Hack and J. J. Brown, “Diffusion of atmospheric gases into barrier-layer sealed organic light emitting diodes”, Appl. Phys. Lett., vol.93, 203306, 2008.