高效能氧化銦鎢薄膜電晶體元件研究與開發

Investigation on High Performance Tungsten Oxide Doped Indium Oxide Semiconductor for Thin Film Transistors Application

張智翔(Chih-Hsiang Chang)

指導教授 ： 劉柏村

國立交通大學/電機學院/光電工程系所/博士(2017年)

摘要

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關鍵字

薄膜電晶體 ； 氧化銦鎢 ； 背通道蝕刻 ； 通道保護層

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thin film transistors ； indium tungsten oxide ； back channel etching ； channel passivation layer

參考文獻

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