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太陽能矽晶圓切削汙泥之熱裂解研究
Study on Pyrolysis of Solar Silicon Wafer Cutting Sludge
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摘要
太陽能電池製造最初階段需對矽晶圓進行切割，過程中所產生大量矽泥、碳化矽泥、切削廢液等廢棄有機汙染物，本篇研究主要針對此階段造成的汙染物進行可回收性研究，其中包含熱裂解後固體部份，矽與碳化矽之分析，以及經熱裂解後所產出的不可回收液體，分析液體特性。 本實驗是控制爐體溫度並取1500g汙泥在封閉系統中進行汙泥之熱裂解，於120℃前為脫水及乾燥的溫度區間，本實驗將以120℃持溫兩個小時，再以每隔50℃，分150℃、200℃、250℃、300℃、350℃為溫度區間並實驗至600℃，各持溫一個小時確保該溫度區間之熱裂解產物完全釋出並蒐集冷凝之液體。 汙泥開始發生反應於110℃、195℃、223℃處，裂解後蒐集的冷凝液含量各為10.5(wt%)、4.2(wt%)、6.1(wt%)，其中195℃、223℃之冷凝液體熱值達7600(cal/g)、8700(cal/g)，熱值已相當於市面上之油品燃料，以廢棄液體回收為出發點不僅能再次利用還具有經濟價值，裂解後固體矽與碳化矽呈燒結狀，且符合回收標準。 關鍵字：太陽能電池、聚乙二醇、碳化矽、熱裂解
參考文獻
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