P型氧化鋅的製備與分析

Fabrication and analysis of the P-type ZnO

張世杰(Shih-Chieh Chang)

指導教授 ： 林烱暐

大同大學/電機資訊學院/光電工程研究所/碩士(2012年)

摘要

本論文研究目的為開發p型氧化鋅薄膜。由於氧化鋅原始的材料特性為n型，為了要廣泛的將氧化鋅實現於光電產品上，p型氧化鋅的開發是個重要的研究議題。在本研究中，以RTA氧化氮化鋅(Zn3N2¬)來製備氧化鋅(ZnO)成功的製備了p型氧化鋅。並且在實驗分析中提出了以氮框架(N-frame)架構形成p型氧化鋅(ZnO)的新概念。

關鍵字

p型 ； 氧化鋅 ； 氮框架

並列摘要

This thesis aims to fabrication the p-type ZnO. Due to the native n-type material characteristic of ZnO, it’s an important issue to fabrication the p-type ZnO if one want to widely realize ZnO-based photoelectric devices. In this study, we fabricated the p-type ZnO by using the RTA to Oxidation Zn3N2 and announce a new N-frame structure concept that can lead the n-type ZnO to the p-type ZnO.

並列關鍵字

p-type ； ZnO ； N-frame

參考文獻

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