砷化鎵製程員工砷暴露危害預防之探討

砷化鎵製程除了使用砷化鎵基板本身材質含砷化合物外，諸如砷化鎵磊晶製程作業過程並使用砷化氫（100％氣體，砷化鎵作業過程與設備維修保養過程等，均有砷暴露之潛在危害。長期暴露於砷之下會引起各種慢性危害效應的產生。引起色素沉著（hyperpigmentation)與角質化(hyperkeratosis)等皮膚病變，長期砷暴露並已被證實具有致癌性。如為急性砷化氫氣體暴露包括頭痛、虛弱、嘔吐、噁心和腹痛。幾個小時之後出現暗紅色的尿液，在1至2天之內明顯可見黃疸、腹痛、血尿。砷化氫氣體中毒的系統包括肺臟；生殖泌尿道、和造血系統。因此對於砷化鎵製程作業人員各項安全防護則格外重要，除了現場使用氣體偵測器預防砷化氫外洩提早警報外，作業過應避免與含砷物質經由皮膚直接接觸，防護具必須確實使用，妥善處理砷廢棄物及作業人員接受危害辨識、認知與預防之育訓練，由個人防護及作業環境管理與預防才可杜絕作業人員砷暴露的發生。