應用可拓理論於壓電厚膜製程最佳化

Process Optimization of Piezoelectric Thick Film Using Extension Set Analysis

羅智泓(Zhi-Hong Lo) ； 張士行(Shin-Hsing Chang) ； 陳春明(Chuen-Ming Chen)

《中華技術學院學報》 27期 (2003/05) Pp. 48-53

https://doi.org/10.7095/JCIT.200305.0048

摘要

本文是將壓電厚膜利用網印的方法沉積在矽晶片上，同時使用低溫共燒的方式，使得壓電厚膜與矽晶片更加的警密結合。並運用物元觀念、關聯函數等可拓理論來做製程條件質變的最佳探討，藉著田口實驗法中的直交表在最少實驗次數下，求出最佳製程參數，使其能獲得更廣泛的應用。

關鍵字

壓電厚膜 ； 網印 ； 低溫共燒 ； 物元概念 ； 關聯函數 ； 可拓理論 ； 最佳化

並列摘要

This experiment was deposited piezoelectric thick film which useprinting on the silicon chip and low-temperature sinter, makepiezoelectric thick film and silicon chip structure more denser.
We also use the Matter-Elements concept, dependent function in Extension Theory etc. to do the process conditions with quantitativechange degree function optimization investigation, by the Taguchi-method’s orthogonal array with least experiments to request processparmeter optimization to obtain various fields of applications.

並列關鍵字

piezoelectric thick film ； printing ； low-temperature sinter Matter-Elements concept ； depedent function ； Extension Theory ； optimization