摘要
本文首先以Lagrange運動方程，推導壓電致動彈性鉸鍊平臺的結構動態，利用有限元素軟體Pro／Mechanica作動態性能分析，最後以實驗進行理論與數值分析之驗證。針對彈性鉸鍊兩種不同運動姿態之角度進行比對，探討平臺的共振頻率，藉此可作為控制器設計振動誤差之頻寬考量，進行提升機械性能之目的。藉由理論之估算與實驗結果，顯示以壓電致動彈性鉸鍊之定位平臺操作頻寬可達約150Hz，可以應用於目前以探針進行掃瞄動作之原子力顯微鏡之操作頻寬（約20Hz）及相關之奈微米機電技術製程設備上。
延伸閱讀
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