摘要
有鑑於微奈米技術的蓬勃發展，無論是加工或是量測過程都需要一個穩定的環境，來提高精度與良率。本文章中提出主被動隔振系統之研製，在主動隔振系統設計方面，將利用音圈馬達作為驅動器，並與被動隔振系統並聯使用，利用最佳化獨立模態控制法則求出最佳反饋值，藉此降低外界的振動對於系統的影響。藉由數值模擬與實驗結果可得到相同的結果。此外，本實驗設備中也以市售的喇叭當作驅動器，不僅可以降低成本，也能得到良好的隔振效果。
被引用紀錄
林士淵（2016）。E-Bike馬達模態分析及最佳化〔碩士論文，國立虎尾科技大學〕。華藝線上圖書館。https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=U0028-1507201617005800