考量等候時間限制之半導體爐管機台派工法則

Dispatching Rules with Queue-Time-Limit Consideration for Furnace in Wafer Fabrication Factory

林則孟(James T. Lin) ； 蔡建基(Chien-Chi Tsai) ； 陳盈彥(Yin-Yann Chen) ； 陳子立(Tzu-Li Chen)

《先進工程學刊》 4卷3期 (2009/07) Pp. 273-278

https://doi.org/10.29948/JAE.200907.0013

摘要

半導體晶圓廠為了避免在製品於生產線上等待過久而造成晶圓表面的製程缺陷，會制定一段時間來做為等候時間的限制以維持產品良率。等候時間限制問題若發生在批次工作站影響將更加嚴重，到達批次工作站之晶圓批必須增加集批的額外等候時間，會造成產品的等候時間增長，使超出等候時間限制的機率加大。爐管機台同時具有「批次加工」與「等候時間限制」兩個重要特性，本研究提出於等候時間限制的考量下，兩階段集批策略派工法則(Two-stage Form Batch Strategy, TFBS)，目的在預防晶圓在加工過程中，因超過等候時間限制所造成的重工或報廢，除了能節省生產成本，預期能對爐管加工良率及訂單達交率有明顯助益。本研究籍由模擬軟體建構模擬模式，系統包含清洗機台、爐管機台等，各產品之加工時間、等候時間上限與可加工機台不同。實驗設計在三種產品來到率與三種交期鬆弛度的環境因子設定下，探討不同的派工法則對於各項績效指標之表現差異。由模擬結果得知，本研究所提出之兩階段集批策略派工法則，在具有等候時間限制下，可有效的提升訂單達交率與爐管加工良率。

關鍵字

爐管機台 ； 批次加工 ； 等候時間限制 ； 集批 ； 生產線良率

並列摘要

This research focuses on furnace machine areas having the two features of queue-time-limit and batch process at the same time. In this paper, we propose a dispatching rule called ”two-stage form batch strategy” (TFBS). From the results of experiments, the TFBS is better than the other approaches in terms of superiority of CLIP and furnace line yield.

並列關鍵字

furnace machine ； batch process ； form batch ； line yield ； queue-time-limit