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期刊
金屬層蝕刻機(Lam research TCP9600)蝕刻製程參數介紹
沈志彥
《國家奈米元件實驗室newsletter》
13期
(2008/10)
Pp. 3-4
https://doi.org/10.6484/NNDLN.200810.0003
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