摘要
台灣積體電路公司為瞭解半導體産業及工廠本身能源使用情形，進而比較同業間之差異、尋求改善空間，於是選擇生産八吋晶圓之晶圓三廠加入美國半導體共同研究開發機構－SEMATECH之半導體能源查核計劃。本計劃委託中國技術服務社能源技術服務中心執行量沒及分析工作，能源查核的範圍包括全廠用電量、生産機台之冷卻水量、純水量及排氣量之量測；工廠供電系統主要切分成公用設施系統、製程機台系統及辦公區等。 本計劃預期由實際量測得知全廠耗電之分佈情形及排氣、冷卻水與純水之單位耗電量、生産每片晶圓之耗量等，這些咨詢可作為建立本廠耗能之基準及同業間之參考。另一方面，量測結果顯示出，全廠用電除公用設施外，製程機台亦佔大部份人，分別為51%及43%，兩者均可列為節能改善之重點。針對公用設施系統，中技社提出五項改善建議，預估可達到的效益為：降低容量1,874.5KW、減少用電量6,934,730KWH/年及節省電費1,279萬元／年。而在製程機台方面，選擇耗能、耗水量或排氣量較高之數種機台進行代表性量測，初步結果顯示機台實際耗電、排氣量及用水量與廠商所提需求有相當大的差距，結果除可提供工廠評估調整目前操作狀況之依據外，並可提供予機台廠商作為修正機台規範之參考，促使廠商考量機台節能之設計及節省工廠電力設施之初設成本。
被引用紀錄
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延伸閱讀
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