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FFU在垂直層流無塵室應用之特性
The Characteristic of FFU in Vertical Laminar Cleanroom
摘要
本文以FLOVENT流埸數值模擬軟體，針對FFU風量循環系統，考慮無塵室內並無製程作業與設備（爲建造狀態下），以系統氣流速度埸和壓力埸，探討在給定FFU用風機性能曲線與系統內不同元件（HEPA或ULPA過濾器及高架孔洞地极）尺寸及規格搭配下，分析在過慮器出口位置及工作高度位置下之流埸均勻狀況；無塵空間內壓力值；並同時模擬出每一支FFU在此條件下之操作點及耗能。 建立垂直層流無塵室之最重要元件，除應選用足夠粒子捕集效率之HEPA或ULPA過濾器外，就是須採用低開孔率(10%)之高架地极；別外過濾之壓降是決定無塵空間內氣埸均勻程度之指標，在低開孔率高架地极之使用前提下，高阻抗過慮器(△P(下標 f)=196V(下標 f)可保無塵空間內所有點的風速全部都可以在平均風速±10%範圍內，相對的若採用低阻抗過慮器(△P(下標 f)=104V(下標 f)則只保證在平均風速±20%內，但其使用供氣室和回風室的高度却可以較低。
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延伸閱讀
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