由氣體理論對低溫與吸附幫浦之探討

低溫或吸附幫浦是產生真空環境之必要設備（前者主要是用於超高真空者，後者以用於低度真空獲得爲主），而這些之理論即是建立在氣骼熱力學與動力學之學理基礎上，換句話說氣體理論即是真空技術之高階基礎；如高度真空或超高真空之真空隔熱技術，此時之真空度通常須達7.5(10^(-4) torr以下之壓力，於此情況下便須探討其熱力學性質與對固體表面反應等問題；它如各不同真空度下之氣體動力學爲等（氣體流動問題[1]），這些都是氣體理論的主要內容，同時也必須以氣體理論爲基礎始可有更進一步之認知，低溫或吸附幫浦之學理發展與應用也是由此而產生，事實上其他幫浦亦是以此爲基礎。本文擬由氣體理論之相關基礎爲始，再引述真空技術之基糾既念與低溫及吸附幫浦之關係，輸送現象及器壁表面對真空系統之影響等相關內容。