類神經網路應用於無塵室空調系統特性模擬之研究

"A Study on Neural network-based Modelling of the Operating Behavior of a clean-room air-conditioning System"

黃博全(Po-Chuan Huang) ； 郭旭初(Hsu-Chu Kuo) ； 張峰源(Feng-Yuan Chang)

《冷凍與空調》 27期 (2004/06) Pp. 89-100

https://doi.org/10.7087/JRACT.200406.0089

摘要

無塵室主要功能是提供恆溫恆濕及防止污染的製程環境，藉以維持産品良率，對於精密機械、半導體、生技製藥、食品等産業而言，無塵室是不可缺的設施。然而無塵室之運作十分耗能，且依賴專業人員的經驗來操控，因此如何模擬無塵室空調系统之運作方法，建立空調系统之特性圖，藉以尋找節能運轉之參考，以降低運轉成本及對專業人員依賴，是一件重要的問題。
本研究探討應用類神經網路理念進行無塵室空調系统運轉特性之模擬，其過程是以代工晶圓製造廠爲研究對象，藉由廠務運轉記録，依倒傳遞類神經網路理論，以MATLAB程式語言建構不確定性無塵室空調系统的類神經網路模型，經訓練樣本的學習訓練檢驗，驗証建模的可行性後，模擬預測無塵室空調系统各關鍵參數運轉之特性趨勢圖，據以分析無塵室節能運作條件。研究結果顯示，經本文建立之類神經網路，對於無塵室空調系统進行模擬計算和預測，其结果與實測值間相當一致，準度高，証明類神經網路應用在無塵室空調系统之特性模擬具有可行性。另此類神經網路的模擬亦証明可作爲尋求無塵室節能操作或新廠規劃設計的輔助工具。

關鍵字

無塵室 ； 倒傳遞類神經網路 ； 風機濾網機組 ； 潔淨度