本論文中,我們以不同製程條件研製有機材料pentacene作為電晶體的載子傳遞層的有機薄膜電晶體,觀察pentacene薄膜的生長狀況,並量測分析有機電晶體的各項電特性。在高溫下pentacene成長有著較好的結晶性與較大的晶粒,同時也會提高載子移動率;而經由Octadecyltrichlorosilane (簡稱OTS, CH3(CH2)17SiCl3)處理閘極絕緣層界面的元件,儘管其pentacene晶粒較小,但除了臨界電壓會往負方向移動外,其他電特性諸如載子移動率,電流開關比,次臨界斜率都有明顯改善。綜合各項較佳製程條件,本論文中最好的有機薄膜電晶體其載子移動率為0.12 cm2/Vs,電流開關比約為106,次臨界斜率可達1.97 V/decade。