近年來，環保意識的抬頭以及能源危機意識，使得全球積極研發使用潔淨之再生能源，來減輕傳統發電方式所產生之汙染問題。目前太陽能產業得已被重視，也成為未來能源趨勢。但是就目前太陽電池發展，成本仍然過高且光轉換效率並沒達到理論預期，使得太陽電池在全球普及率偏低。為了提升太陽電池轉換效率，本研究提出一種低能量連續電漿離子轟擊技術，藉由離子柨植改善太陽電池抗反射層表面特性，希望藉此提高太陽電池對於光的吸收量進而表現在光電轉換效率的提升。

第一章 簡介
1.1.太陽電池概論 1
1.2.電容式耦合電漿源 4
1.3.研究動機 5
第二章 太陽電池概論
2.1. 太陽光譜 6
2.2. 二極體(diode)模型 8
2.3. 太陽電池的重要參數 16
2.4. 太陽電池的製程 22
第三章 實驗儀器
3.1. ICP電漿離子柨值系統 23
3.2. 電容式耦合電漿源系統 26
3.3. WT2000複合量測機台 28
3.4. Solar Simulator 31
3.5. 四點探針 33
3.6. 橢圓偏光儀 33
3.7. Quantum Efficiency 34
3.8. 高溫退火爐 35
3.9. UV/VIS Spectrometer 36
3.10. 掃描式電子顯微鏡(SEM) 36
3.11. 化學分析電子光譜(ESCA) 37
第四章 實驗方法與步驟
4.1.太陽電池電漿處理前後的電性改變 39
4.2.太陽電池電漿處理前後的物性改變和化學分析 40
4.3.商業電池的電漿處理及分析 41
第五章 實驗結果與討論
5.1. 太陽電池電性量測 42
5.2. 太陽電池表面材料分析 53
5.3. 業界電池效率量測 63
5.4. CCP電漿技術與PIII電漿技術比較與討論 67
第六章 結論
6.1.實驗結論 70
6.2.未來研究方向 71
參考文獻 72

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