摘要
本文的目的是以射頻磁控濺鍍法在Pt/Ti/SiO2/Si基板上沉積鋯鈦酸鉛(lead zirconate titanate, PZT)，在不同的製備條件對其電性、物性作分析以期能得到具有優良壓電性質之PZT壓電薄膜。在物性分析方面，將藉由SEM 來觀察退火完成後之表面型態及橫斷面；由EDS作定量之成分分析，由XRD分析其結晶性。在電性分析分面，使用RT-6000鐵電性質量測系統量測PZT薄膜P-E curve。 由實驗結果得知，在濺鍍參數條件下，PZT薄膜經過快速熱退火(RTA)600℃持溫30分鐘處理後，其鐵電性質，殘餘極化量(remanent polarization, Pr)為3.0μC/平方公分、矯頑電場(coercive field, Ec)為14.05kV/cm。
延伸閱讀
- 林景崎、朱智誠、曾耀田、翁維亨、李國志（2015）。磁控濺鍍製備鋯、鈦共摻氧化鋅薄膜之結構研究與光電特性分析。防蝕工程，29(1)，17-27。https://doi.org/10.6376/JCCE.201503_29(1).0003
- 陳伯宜、魏琮修、陳建瑞（2006）。以溶膠－凝膠法製備鈦酸鋇薄膜作為氫離子感應場效電晶體之研究。真空科技，19(2)，129-133。https://doi.org/10.29808/JVSROC.200611.0028
- 嚴士宸（2020）。以氧化銅奈米柱結構強化摻鋁氧化鋅薄膜以應用於可撓式觸控感測電極〔碩士論文，義守大學〕。華藝線上圖書館。https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=U0074-0307202015341500
- 曾珠玲、鄧煥平、楊家榮、呂褔興（2012）。以電漿電解氧化法於鈦薄膜底材上製備鈦酸鋇膜之特性及其抗腐蝕研究。防蝕工程，26(2)，99-105。https://doi.org/10.6376/JCCE.201206.0099
- 廖昌昱（2007）。以微製程技術製備鋯鈦酸鉛壓電式微重量感測器〔碩士論文，國立中央大學〕。華藝線上圖書館。https://www.airitilibrary.com/Article/Detail?DocID=U0031-0207200917350506