摘要
本研究應用微機電製程與奈米技術開發微型直接甲醇燃料電池，以濺鍍沉積法製作直接甲醇燃料電池觸媒，將沉積的薄膜附著高表面積之奈米碳管上，並施以退火處理，期望能製備小於10奈米且分布均勻的金顆粒，探討不同溫度、膜厚對分散度影響，藉由場發射掃描式電子顯微鏡(FE-SEM)分析觸媒中金屬之粒徑大小、分佈性，由實驗中發現退火溫度300℃、400℃，沉積時間2秒時的膜厚，所製備之電極觸媒其Au擔持在奈米碳管上的粒徑約在10nm以下，分散性越高粒徑就越小，顯示電極觸媒之分散性及粒徑與溫度、膜厚是相關的。使用新型SU8-100厚膜光阻材料，以類深刻模造(LIGA-like)技術加工製作，可以達到輕、薄與微型化的雙極板，即可組裝微型甲醇燃料電池。
延伸閱讀
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