摘要
本文使用田口方法在不同的拋光參數下取得最佳玻璃移除率的研究。研究中使用厚度0.7mm的玻璃基板，並搭配氧化鈰拋光液與拋光墊，在固定的拋光時間之下，選擇影響玻璃基板厚度移除量較顯著的拋光參數當作條件因子，使用田口方法L_(18)(2^1×3^5)的直交表進行實驗，拋光後再針對玻璃基板厚度移除量數據進行數據分析，期望得到最佳玻璃基板厚度移除量所使用的拋光參數。由訊號／雜訊比分析結果顯示，針對單位時間內玻璃厚度移除量最佳重要的因子為下盤轉動速度，經過驗證實驗，預測參數與實際拋光結果訊號／雜訊比差異僅0.48(dB)，本研究的實驗結果能有效提高玻璃基板拋光減薄製程的效率。
被引用紀錄
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延伸閱讀
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