本文主要探討研磨墊結構中加入不同粒徑研磨粉,其在物性上以及分散均勻性上的影響。將不同粒徑的研磨粉加入研磨墊內後,觀察研磨墊的整體結構包含分散均勻度、結構穩定性。實驗結果顯示,當研磨墊內所添加的研磨粉粒徑<1.30μm時會有明顯分散不均的現象,以粒徑1.56μm添加則可有效改善分散不均,以及解決循環管路內的濾網堵塞狀況。研磨粉的粒徑大小對研磨墊製備時之發泡性特性沒有顯著影響。
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