摘要
本研究的核心為製作從環境中擷取機械振動能並且轉換成電能的微能源擷取裝置。此擷取裝置主要透過d_(31)及d_(33)壓電模式，作為能量轉換的方式。所謂的d_(31)壓電模式，是在壓電層PZT上下製作電極層作為能量輸出端；d_(33)壓電模式則是在壓電層上製作指叉式電極，作為能量輸出端。壓電層PZT主要是利用沉積效率高且低溫製程的氣膠沉積法，以進行PZT層的製作。研究結果成功製作出d_(31)及d_(33)壓電模式的微能源擷取裝置，並且就其能量擷取進行輸出電壓對間抗與輸出功率對間抗的量測；另外，也就輸出電壓對加速度及輸出功率對加速度的數據，進行量測分析；此擷取裝置在d_(31)壓電模式的最大輸出功率為2.675 μW，此時的輸出電壓為1.792 Vp-p；而d_(33)壓電模式最大輸出功率為1.288 μW，此時的輸出電壓為2.292 Vp-p；另外如果不接阻抗時，可以有最大的輸出電壓4.127 Vp-p。
延伸閱讀
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