本研究探討雙晶式結構的超導量子干涉儀(SQUID)元件的製作方式,主要目的有兩個部分,第一部分為自行研磨拋光回收雙晶鈦酸鍶(SrTiO3)基板,第二部分是設計SQUID光罩圖案,利用雷射濺鍍系統將超導體釔鋇銅氧(YBa2Cu3O7-δ)成長於自行拋光回收的雙晶鈦酸鍶基板上,結合自行設計SQUID圖案,藉以製作出降低成本且品質良好的SQUID 元件。 由測量結果得知,自行研磨拋光的基板表面平整且無破壞晶格結構,可成長高品質的高溫超導薄膜於拋光基板上,配合SQUID圖案設計,量測出SQUID的特性曲線與雜訊頻譜分析,提供一個低成本製作SQUID元件的方法。
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