銅在磷酸溶液中之電化學平坦化機制

Electrochemical planarization mechanism of copper in phosphoric acid

戴振家(Chen-Chia Tai)

指導教授 ： 蔡子萱

淡江大學/工學院/化學工程與材料工程學系碩士班/碩士(2009年)

https://doi.org/10.6846/TKU.2009.01452

摘要

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關鍵字

銅 ； 電化學平坦化 ； 磷酸 ； 交流阻抗 ； 極化曲線

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並列關鍵字

copper ； electrochemical planarization ； phosphoric acid ； AC impedance ； anodic polarization curves

參考文獻

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