以常壓空氣電漿及反應離子蝕刻製作鑽石微結構之研究

Investigation of Fabricating Micro/Nano-Structures on CVD Diamond Film by Air Plasma and Reactive Ion Etching

林夏蓁(Hsia-Chen Lin)

指導教授 ： 趙崇禮

淡江大學/工學院/機械與機電工程學系碩士班/碩士(2007年)

https://doi.org/10.6846/TKU.2007.01240

摘要

本篇摘要未授權

關鍵字

CVD鑽石膜 ； 反應離子蝕刻 ； 空氣電漿 ； 微結構

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並列關鍵字

Chemical vapor deposition ； reactive ion etching ； air plasma ； microstructure

參考文獻

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